- 分辨率:≤1.0nm@15KV,≤1.8 nm@1kV
- 放大倍率:10-1,000,000倍
- 电子枪:肖特基热场发射电子枪,非钨灯丝
- 加速电子:0.02kV ~ 30 kV
- 可测样品:≥200mm


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