-
X-Y 方向扫描范围:最小 200 * 200um; 最大≥ 320 ×320 mm;
- 重复精度± 0.1μm ;
-
探头配置:30Hz/50MHz/110MHz/125MHz/230MHz;

材料内部的晶格结构,杂质颗粒;
内部裂纹;
分层缺陷;
空洞、气泡、空隙等等。

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